作為我國科技發(fā)展領(lǐng)頭羊城市之一，中國最強的經(jīng)濟特區(qū)——深圳肩負著經(jīng)濟發(fā)展、科技突圍的重任。

(資料圖片僅供參考)

據(jù)深圳市智能傳感行業(yè)協(xié)會2022年底調(diào)研數(shù)據(jù)顯示，深圳市擁有智能傳感器及產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)企業(yè)逾240家，其中包括上市公司12家、國家級專精特新“小巨人”11家、專精特新企業(yè)39家。

這里面，雖然在聲學(xué)、壓力、生物、激光雷達等多個細分領(lǐng)域，涌現(xiàn)出瑞聲科技、匯頂科技等一批具有強大研發(fā)實力和行業(yè)影響力的傳感器企業(yè)，但在芯片制造和設(shè)備、材料等方面仍存在明顯短板，此前深圳并沒有具有一定規(guī)模的MEMS中試線/量產(chǎn)線，深圳傳感器企業(yè)設(shè)計、生產(chǎn)MEMS芯片往往要到長三角等國內(nèi)外地區(qū)尋找產(chǎn)線流片。

MEMS中試線對于一個地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的影響至關(guān)重要，如今，深圳首條MEMS中試線終于要來了！

8月2日夜間，中國及全球領(lǐng)先的MEMS芯片代工企業(yè)賽微電子正式官宣，將出資4.5億與深重投集團關(guān)聯(lián)體等成立合資公司，在深圳建設(shè)MEMS中試線，該產(chǎn)線即為此前深圳宣布將在光明區(qū)建設(shè)的MEMS中試線。

具體情況如何？深圳首條MEMS中試線落地哪里？有什么流片政策？為什么MEMS中試線對地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展這么重要？

中國&全球第一MEMS代工廠參與建設(shè)！總投資15.33億元！深圳特區(qū)首條MEMS中試線要來了！

昨日（8月2日）晚間，中國&全球領(lǐng)先的MEMS芯片代工企業(yè)北京賽微電子發(fā)布公告，宣布其旗下全資子公司賽萊克斯國際擬與深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團有限公司關(guān)聯(lián)主體、遠致星火、華大松禾、科萊恩特、賽萊創(chuàng)晶簽署《投資合同》，共同出資設(shè)立賽萊克斯微系統(tǒng)科技（深圳）有限公司（簡稱“賽萊克斯深圳”）。

對于本次的投資目的，公告中稱：

本次通過投資設(shè)立賽萊克斯深圳、在深圳投資建設(shè)MEMS項目，目的在于充分利用粵港澳大灣區(qū)優(yōu)勢資源要素，積極把握半導(dǎo)體及智能傳感產(chǎn)業(yè)發(fā)展機遇，深圳產(chǎn)線與北京產(chǎn)線形成有效互補，更大限度、更多層次地滿足不同地域、不同產(chǎn)業(yè)客戶對MEMS工藝制造的需求，從而促進公司MEMS芯片制造業(yè)務(wù)的進一步發(fā)展，進一步提升公司綜合產(chǎn)能、服務(wù)能力、行業(yè)地位和競爭實力，提升公司持續(xù)盈利能力，為股東創(chuàng)造更多的投資回報。

這意味著，此前流傳已久的深圳MEMS中試線項目從政策階段進入落地，并且由賽微電子主導(dǎo)建設(shè)。

▲來源：賽微電子公告書

據(jù)公告顯示，賽萊克斯深圳的注冊資本為15億元，其中賽萊克斯國際出資4.5億元，持有30%股權(quán)；科萊恩特出資4.1億元，持有27.334%股權(quán)；深重投集團關(guān)聯(lián)主體出資3.6億元，持有24%股權(quán)。此外，賽萊創(chuàng)晶、遠致星火、華大松禾分別出資1.5億元、9999萬元、3000萬元。

▲來源：賽微電子公告書

此前，早在2022年11月，舉行的中國傳感器與應(yīng)用技術(shù)大會暨光明專項招商大會上，首次有消息確認，總投資額約15.33億元的大灣區(qū)MEMS中試線項目將落戶深圳光明區(qū)，并計劃于2025年建設(shè)完成，該投資金額與本次賽萊克斯深圳注冊資金數(shù)吻合：

據(jù)悉，該項目規(guī)劃建設(shè)一條約產(chǎn)能3000片的8吋MEMS中試線，并具備熱電堆、MEMS壓力、MEMS麥克風(fēng)、MEMS慣性傳感、微流控和微振鏡等工藝平臺，以幫助相關(guān)中小企業(yè)實現(xiàn)從MEMS工藝研發(fā)、中試到小規(guī)模量產(chǎn)的無縫對接，降低初創(chuàng)公司的創(chuàng)業(yè)風(fēng)險和資金壓力，加速成果產(chǎn)業(yè)化進程，助力形成企業(yè)聚集效應(yīng)。同時，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金也將落地光明。

據(jù)6月2日，賽微電子投資者活動公告顯示：

6、請介紹公司此前提到的大灣區(qū)布局情況?答：對于在北方和南方分別布局的MEMS中試線，公司規(guī)劃的時間已經(jīng)比較久了，目的是為了與北京FAB3規(guī)模量產(chǎn)線形成互補，提高公司對更廣領(lǐng)域更多客戶的中試服務(wù)能力，積累更多產(chǎn)品及工藝后自然也將持續(xù)孕育導(dǎo)入一些未來的量產(chǎn)訂單。當(dāng)然，由于所處區(qū)域的產(chǎn)業(yè)、資源、人才、技術(shù)特點等不同，這兩條中試線也會具備不同的特征。根據(jù)MEMS業(yè)務(wù)的長期發(fā)展戰(zhàn)略，公司計劃、準(zhǔn)備在北京及粵港澳大灣區(qū)分別建設(shè)中試線，相關(guān)投資事項仍在談判、準(zhǔn)備過程中，公司后續(xù)也將及時進行審議及披露。其中，公司在大灣區(qū)所布局MEMS中試線的設(shè)計產(chǎn)能為3000片晶圓/月，公司與各相關(guān)方正積極促進項目公司的設(shè)立，以推進產(chǎn)線建設(shè)。

深圳MEMS中試線推優(yōu)惠大禮包！首次流片費用補貼60%！還有什么優(yōu)惠政策？具體落地在哪里？

自2020年以來，廣東省及深圳市省市政府推出了鼓勵智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的多項重要政策，向產(chǎn)業(yè)釋放中國經(jīng)濟領(lǐng)頭羊扶持國產(chǎn)傳感器產(chǎn)業(yè)的決心，這些政策包括：《廣東省人民政府關(guān)于培育發(fā)展戰(zhàn)略性支柱產(chǎn)業(yè)集群和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群的意見》、《深圳市人民政府辦公廳印發(fā)關(guān)于加快集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干措施的通知》、《深圳市人民政府關(guān)于發(fā)展壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群和培育發(fā)展未來產(chǎn)業(yè)的意見》、《深圳市培育發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群行動計劃（2022—2025 年）》等。

深圳對智能傳感器產(chǎn)業(yè)空間布局，重點落在了南山、龍華和光明這三區(qū)。其中，南山區(qū)的定位重點放在了“產(chǎn)學(xué)研”；龍華的定位是“3C應(yīng)用示范”；而光明區(qū)任務(wù)最重，肩負建設(shè)MEMS中試線、智能傳感器產(chǎn)業(yè)園等任務(wù)。

此外，總規(guī)模50億元的智能傳感器產(chǎn)業(yè)基金，也已在2022年12底落地光明區(qū)，光明區(qū)成為深圳市重點打造的智能傳感器產(chǎn)業(yè)高地。因此，對深圳粵港澳大灣區(qū)MEMS中試線的產(chǎn)業(yè)政策，均由光明區(qū)落地。

據(jù)2023 年3 月25日光明區(qū)政府發(fā)布的《深圳市光明區(qū)關(guān)于支持智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施》（下文簡稱《措施》）文件顯示，重點鼓勵傳感器企業(yè)利用光明區(qū)MEMS中試平臺流片，將對企業(yè)在該中試線首次流片費用的60%給予補貼，單個企業(yè)年度最高補貼不超過600萬，相比企業(yè)在外地流片補貼力度增加了一倍：

第八條 支持企業(yè)首輪流片。支持智能傳感器企業(yè)開展高端智能傳感器首輪流片，按照工程產(chǎn)品首輪流片費用（含IP授權(quán)或購置、掩模版制作、流片等）的30%給予補貼，單個企業(yè)年度最高補貼不超過 300 萬元。鼓勵企業(yè)利用光明區(qū)MEMS中試平臺流片，按首次流片費用的 60%給予補貼，單個企業(yè)年度最高補貼不超過 600 萬元。

《措施》在第四條“支持建設(shè)智能傳感器MEMS 中試線”，提到：

第四條 支持建設(shè)智能傳感器MEMS 中試線。支持引進國內(nèi)外一流 MEMS 晶圓制造產(chǎn)線建設(shè)運營機構(gòu)，在光明區(qū)建設(shè)一條兼具研發(fā)中試和量產(chǎn)能力的亞微米級8 英寸MEMS 中試線，重點推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應(yīng)力控制等核心制造工藝升級，形成標(biāo)準(zhǔn)工藝設(shè)計工具包（PDK），面向市內(nèi)外有關(guān)企業(yè)提供研發(fā)中試和批量代工服務(wù)。對項目涉及的相關(guān)主體采取“一事一議”方式予以支持。

顯然，文中提到的引進“國內(nèi)外一流MEMS晶圓產(chǎn)線建設(shè)運營機構(gòu)”已經(jīng)可以明確是賽微電子。

深圳MEMS中試線制程為亞微米級（100nm-1um），將著力于推動深硅刻蝕、薄膜沉積、薄膜應(yīng)力控制等核心制造工藝升級，并形成標(biāo)準(zhǔn)工藝設(shè)計工具包（PDK）。

除建設(shè)MEMS中試線外，《措施》中提到依托MEMS中試平臺，鼓勵國家級 MEMS 封測龍頭企業(yè)建設(shè)智能傳感器先進封測服務(wù)平臺：

第五條 支持建設(shè) MEMS 先進封測公共服務(wù)平臺。依托MEMS中試平臺，鼓勵國家級 MEMS 封測龍頭企業(yè)建設(shè)智能傳感器先進封測服務(wù)平臺，鼓勵區(qū)內(nèi)相關(guān)企業(yè)利用自有封測產(chǎn)線承接封測服務(wù)平臺服務(wù)需求，共同為企業(yè)提供封裝方案設(shè)計與仿真、封裝組裝、測試包裝等工藝定制化開發(fā)和產(chǎn)品封裝代工服務(wù)，滿足不同類別、不同原理的傳感器測試需求。對建設(shè)先進封測服務(wù)平臺，按照項目實際投資的 40%，給予最高不超過1000 萬元補貼。對企業(yè)將自建封測線對外開放，配合區(qū)級智能傳感器先進封測服務(wù)平臺承接封測服務(wù)的，按服務(wù)合同額的10%，給予每年最高200萬元補貼。

《措施》提到支持建設(shè)技術(shù)協(xié)同平臺，最高補貼1000萬元：

第六條 支持建設(shè)技術(shù)協(xié)同平臺。鼓勵建設(shè)數(shù)字化、國際化、標(biāo)準(zhǔn)化的技術(shù)協(xié)同平臺，提供案例發(fā)布、供需對接、技術(shù)交流等創(chuàng)新體驗，推動實現(xiàn)消費電子、汽車電子、智能制造等應(yīng)用領(lǐng)域與智能傳感器技術(shù)產(chǎn)品雙向匹配。遴選世界領(lǐng)先的智能傳感器技術(shù)協(xié)同平臺，對入選平臺分 3 期給予建設(shè)補貼，最高補貼1000萬元。支持區(qū)內(nèi)企業(yè)上平臺開拓市場，提升國際知名度和影響力，對使用區(qū)級智能傳感器技術(shù)協(xié)同平臺服務(wù)的企業(yè)，按照平臺當(dāng)年度收取服務(wù)費用的 50%給予一次性補貼，最高補貼20萬元。

此前已經(jīng)落地的50 億元人民幣的智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金，《措施》中也明確提到了其用途，將主要用于股權(quán)投資和招商引資，并且以IDM企業(yè)為主：

第七條 開展精準(zhǔn)靶向招商。設(shè)立規(guī)模不少于50 億元人民幣的智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金，開展股權(quán)投資，強化招商引資。瞄準(zhǔn)智能傳感器行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)，引進國際領(lǐng)先的消費、汽車、工業(yè)智能傳感器整合元件制造商（IDM）落地。對經(jīng)認定的重大項目落地建設(shè)予以支持，按項目實際投資額的20%，給予最高不超過5000 萬元獎勵。

除上述重大項目外，《措施》中對關(guān)鍵合計技術(shù)攻關(guān)、企業(yè)并購重組、企業(yè)建設(shè)先進封測產(chǎn)線、企業(yè)建設(shè)智能傳感器專業(yè)園區(qū)等等均有扶持措施?！渡钲谑泄饷鲄^(qū)關(guān)于支持智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群高質(zhì)量發(fā)展的若干措施》原文可在深圳市光明區(qū)政府官網(wǎng)查看，或在傳感器專家網(wǎng)公眾號對話框回復(fù)關(guān)鍵詞【資料下載】，在資料下載頁面找到對應(yīng)文檔即可下載。

關(guān)于該MEMS產(chǎn)線具體位置方面，目前無任何公開信息披露。但據(jù)2023年光明區(qū)重點項目介紹顯示，2023年1月，深圳市光明區(qū)智能傳感與精密儀器先進制造業(yè)園區(qū)開工建設(shè)，項目位于光明區(qū)西南直角產(chǎn)業(yè)帶，綜合開發(fā)范圍1.95平方公里，規(guī)劃容積382.51萬平方米，分四期開發(fā)，項目總投資達81.9億元。

這是繼粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園后，廣東省第二個成規(guī)模的傳感器產(chǎn)業(yè)園區(qū)，也使光明區(qū)成為深圳市的智能傳感器產(chǎn)業(yè)高地。深圳粵港澳大灣區(qū)MEMS中試線項目具體地址或?qū)⑻幱谠搱@區(qū)中。

為什么MEMS中試線對一個城市的傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展這么重要？

1、掙脫卡脖子困境，帶動地區(qū)傳感產(chǎn)業(yè)升級

高科技產(chǎn)業(yè)，技術(shù)為本。在一顆MEMS傳感器中，什么最重要？MEMS傳感器核心為MEMS芯片——用來感知信號，以及ASIC芯片——用來處理信號，其中MEMS芯片是技術(shù)含量最高的部件。

▲MEMS聲學(xué)傳感器構(gòu)造圖（來自歌爾微招股書）

當(dāng)前，中國絕大部分本土MEMS企業(yè)，采購海外傳感器企業(yè)設(shè)計好的芯片以及與傳感器配套的其他芯片如ASIC信號調(diào)理電路芯片，自行或委托代工廠完成傳感器的封裝和測試，再將傳感器成品銷售給下游終端客戶。

未來，受國外技術(shù)進口、國內(nèi)市場倒逼以及下游封裝市場等因素的影響，中國本土企業(yè)自主化能力提高，大部分中國MEMS企業(yè)將向Fabless模式演變，MEMS研發(fā)中試線平臺將能有力幫助這些企業(yè)提高自主設(shè)計能力。

隨著本土傳感器企業(yè)成為具備芯片設(shè)計能力的Fabless公司，中國傳感器產(chǎn)業(yè)整體水平將能得到巨大提升，也能倒逼國內(nèi)MEMS產(chǎn)線擴張，去除芯片“卡脖子”的隱憂。

因為MEMS傳感器的瓶頸不在于先進的晶圓制造設(shè)備，而在生產(chǎn)工藝、技術(shù)的調(diào)校上，MEMS中試線將能加快企業(yè)芯片設(shè)計和工藝研發(fā)進展。

2、極大降低傳感器企業(yè)的研發(fā)成本

MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)與其他高新科技產(chǎn)業(yè)一樣，是一個技術(shù)、人才、資金密集的產(chǎn)業(yè)。

如下圖所示，智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈非常長，涉及數(shù)十個環(huán)節(jié)，產(chǎn)業(yè)鏈的每個環(huán)節(jié)投入都較大，單一企業(yè)很難獨自承受產(chǎn)業(yè)鏈所有環(huán)節(jié)所需要的技術(shù)知識、人力成本及設(shè)備投入，且只有每個環(huán)節(jié)的產(chǎn)量足夠大，才能覆蓋其綜合成本，因而，智能傳感產(chǎn)業(yè)發(fā)展呈現(xiàn)出專業(yè)化、規(guī)?；椭悄芑奶攸c，即每個環(huán)節(jié)都可成為一家獨立的公司參與到產(chǎn)業(yè)鏈的生態(tài)發(fā)展，而生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)是所有環(huán)節(jié)中投入最大的部分。

▲來源：深圳市MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展白皮書

據(jù)中原智能傳感研究院執(zhí)行院長李揚介紹：

以MEMS中試線和量產(chǎn)代工線投資為例，一條8吋的MEMS中試線，以月產(chǎn)能3000-5000片為例，總投資在10億以上。包括廠房建設(shè)、超凈間建設(shè)、危廢處理等附屬設(shè)施、設(shè)備等，其中設(shè)備的投資占50%。每年的運維費用，超凈間維護費用在4000萬左右，其中電費占50%，因半導(dǎo)體設(shè)備的高精度和高可靠性要求，需長時間保持運轉(zhuǎn)或待機狀態(tài)。以賽微電子亦莊8吋線為例，規(guī)劃月產(chǎn)能3萬片，一期建設(shè)產(chǎn)能1萬片/月，建設(shè)投資25.9億，且后續(xù)還需要持續(xù)的投入研發(fā)。行業(yè)的資金投入程度可見一斑。

同時，MEMS傳感器芯片與一般芯片不一樣的是，其工藝制造和調(diào)校更復(fù)雜，需要更多的與MEMS產(chǎn)線精密結(jié)合的工作，其研發(fā)流片過程更長、更久，一般企業(yè)無法承受如此昂貴的研發(fā)成本。

通過建設(shè)MEMS研發(fā)中試平臺，打造共享研發(fā)中心，為傳感器企業(yè)提供傳感器芯片流片服務(wù)、封裝服務(wù)和測試服務(wù)，將能極大降低傳感器企業(yè)的研發(fā)成本，提高企業(yè)市場存活力和競爭力。

3、地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心

粵港澳大灣區(qū)打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)，要建MEMS產(chǎn)線/中試線；鄭州傳感谷、蚌埠傳感谷，同樣要建MEMS中試線；老牌智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，幾乎都有MEMS產(chǎn)線/中試線作為底子。

可見，要打造智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，地區(qū)要發(fā)展智能傳感器產(chǎn)業(yè)，建設(shè)MEMS中試線已成為共識。為什么要建MEMS產(chǎn)線/中試線？因為這是地區(qū)傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的核心、主心骨。

這里有兩個例子：

蘇州納米城提前布局，自2014年MEMSRIGHT的中試線貫通后，借助蘇州納米所的研發(fā)基礎(chǔ)，圍繞MEMSRIGHT中試線，構(gòu)造了“納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)生態(tài)圈”，經(jīng)過8年多的發(fā)展，截至2021年9月累計建成載體近50萬平方米，集聚各級領(lǐng)軍人才超250人，入駐企業(yè)和科研機構(gòu)超400家，其中科創(chuàng)板上市企業(yè)2家（其中不乏敏芯微這樣的獨角獸企業(yè)），國家高新技術(shù)企業(yè)近90家，中科院蘭化所蘇州研究院等中科院下屬機構(gòu)5家，蘇州劍橋等4個國外納米創(chuàng)新中心，已經(jīng)成為國內(nèi)發(fā)展最好的傳感產(chǎn)業(yè)園區(qū)。

相反的是，常州2015年就提出打造“中國國際傳感谷”，建設(shè)傳感小鎮(zhèn)，但由于常州并沒有建設(shè)支撐MEMS傳感器發(fā)展的核心研發(fā)中試平臺，而成為一個普通的招商產(chǎn)業(yè)園，現(xiàn)在已經(jīng)鮮為人知了。

一個地區(qū)的傳感器產(chǎn)業(yè)，沒有建設(shè)好MEMS研發(fā)中試平臺，就很難發(fā)展核心技術(shù)，開發(fā)特色工藝，不斷孵化創(chuàng)新性企業(yè)，吸引產(chǎn)業(yè)上下游聚集，形成產(chǎn)業(yè)鏈。

結(jié)語：中國傳感器產(chǎn)業(yè)升級前夕

隨著賽微電子的官宣，深圳粵港澳大灣區(qū)MEMS中試線的建設(shè)開始從規(guī)劃進入落地階段。

此前，在2022年12月，廣州增芯科技傳感器MEMS量產(chǎn)線項目也已進入動工建設(shè)階段，隨著這兩條具有標(biāo)志性意義的MEMS產(chǎn)線逐步落地，廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)有望迎來爆發(fā)，并促進本土智能傳感器企業(yè)的升級。

除廣州、深圳外，蚌埠重慶合肥鄭州嘉定紹興等等地區(qū)的智能傳感器產(chǎn)業(yè)園、傳感谷，都將迎來一大波MEMS產(chǎn)線/中試線的新建、擴建浪潮。

在堅實的國產(chǎn)MEMS晶圓產(chǎn)線的支撐下，未來將有更多采購封裝的組裝廠模式的國產(chǎn)傳感器企業(yè)，實現(xiàn)MEMS芯片設(shè)計等自主技術(shù)的提升，這才能擺脫中國傳感產(chǎn)業(yè)被卡脖子的困境！

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